瑞士设备商Evatec推出薄膜沉积设备，提升Micro LED生产良率

发布日期：2024/7/5 21:29:08

浏览次数： 点赞数： 收藏数： 关注数： 【赞一个】    【举报】    【收藏】    【关注】

瑞士设备商Evatec推出薄膜沉积设备，提升Micro LED生产良率点击蓝字，

6月3日消息，Evatec表示，公司已推出多种薄膜沉积设备解决方案，可提升Micro LED芯片生产良率。

瑞士设备商Evatec推出薄膜沉积设备，提升Micro LED生产良率

图片来源：Evatec

资料显示，Evatec是一家专注于薄膜沉积技术的瑞士半导体设备商，其技术广泛应用于先进封装、半导体、光电和光学领域，对物联网、5G通信、节能电子设备、汽车LED照明、手机人脸识别等现代技术的发展中起到了关键作用。Evatec 通过其专业技术，可为客户提供从研发到量产的薄膜工艺解决方案。 Evatec指出，Micro LED芯片生产工艺与传统LED在多个方面存在显著区别，这些差异使Micro LED在制造过程中需要更高的技术要求和更精细的工艺控制。 例如，在尺寸方面，Micro LED芯片一般小于100μm，因此Micro LED的生产要求更高的制备精度和更精细的制造工艺，比如更薄的薄层生长、沉积与控制，更高的系统稳定性，跟高的颗粒度控制等。 在缺陷修复方面，由于Micro LED的尺寸极小，其缺陷可修复性几乎为零，所以要求在生产过程中具有更高的良品率。 Evatec表示，Micro LED的芯片制造要求与传统LED有着明显区别，现阶段Micro LED芯片制造过程中，关键控制参数的优先级也发生了变化。