不含PFOS和PFOA 溶于水Non PFOA顶部防反射涂层
发布日期：2024/11/26 16:48:13
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不含PFOS和PFOA 溶于水Non PFOA顶部防反射涂层
深圳市芯泰科光电有限公司
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AQUATAR-Ⅷ系列不含PFOS和PFOA 可溶于水，使用方法与现有的TARC材料相同
适用于各种高分辨率I线/KrF/ArF光刻胶
提高了光刻胶表面的亲水性，有效地减少了显影引起的缺陷
水溶性溶液，因此适于加入现有的工艺中
