应用于超高分辨率图形加工的、光刻胶收缩材料AZ R200
发布日期：2024/11/26 16:48:13
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应用于超高分辨率图形加工的、光刻胶收缩材料AZ R200
深圳市芯泰科光电有限公司
产品热线许经理 :13玖23八66554 扣扣：35捌9123零
AZ RELACS 涂 布 材 料
这是一种十分简单的工艺，通过涂布该材料和热处理之后在光刻胶涂 层内侧形成硬化层，从而获得小于0.1微米的通孔尺寸(或沟槽线宽)的 微细图形 可溶于溶剂型：AZ R200(使用AZ R200显影液) 可溶于纯水型：AZ R500(使用去离子水显影与清边)
在标准光刻工艺无法处理的领域达到超高分辨率
适用于KrF和I线光刻胶
适用于沟槽，线条，通孔等各种图形
材料AZ R200深圳市芯泰科光电有限公司
产品热线许经理 :13玖23八66554 扣扣：35捌9123零
AZ RELACS 涂 布 材 料
这是一种十分简单的工艺，通过涂布该材料和热处理之后在光刻胶涂
层内侧形成硬化层，从而获得小于0.1微米的通孔尺寸(或沟槽线宽)的
微细图形
可溶于溶剂型：AZ R200(使用AZ R200显影液)
可溶于纯水型：AZ R500(使用去离子水显影与清边)
在标准光刻工艺无法处理的领域达到超高分辨率
适用于KrF和I线光刻胶
适用于沟槽，线条，通孔等各种图形
