FUTURREX NEGATIVE RESIST NR9-250P

Description 

 

? Negative Resist NR9-250P is a negative tone photoresist designed for 366 nm 

wavelength exposure, 

using tools such as wafer steppers, scanning projection aligners, proximity printers  

contact printers. 

? These are the advantages of NR9-250P over other resists: - superior resolution capability of less than 0.5 μm - fast develop time - fast photospeed - superior adhesion capability - easy resist removal in Resist Remover RR4 - shelf life exceeding 3 years at room temperature storage. 

? The formulation processing of NR9-250P were designed with regard to occupational 

environmental safety. The principal solvent in NR9-250P is cyclohexanone  

development of NR9-250P is accomplished in a basic water solution. 

 

 

Properties 

 

    ?    Solids content (%)                                                                                     9-12                         

    ?    Principal solvent                                                                                        cyclohexanone 

    ?    Appearance                                                                                               light yellow liquid 

    ?    Coating characteristic                                                                                very uniform,  

                                                                                                                             striation free 

    ?    Film thickness after 150°C hotplate bake for 60 s 

           Coating spin speed, 40 s spin (rpm):                                                           (nm) 

             800                                                                                                           400-600      

3000                                                                                                     220-280 

 

    ?    Sensitivity at 365 nm exposure wavelength (mJ/cm2 for 1 μm thick film)   21 

    ?    Guaranteed shelf life at 25°C storage (years)                                            3