应用于加工的顶部防反射涂层AZ AQUATAR系列
发布日期：2024/11/26 16:48:12
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应用于加工的顶部防反射涂层AZ AQUATAR系列
深圳市芯泰科光电有限公司
产品热线许经理 :13玖23八66554 扣扣：35捌9123零
应用于超高分辨率图形 加工的顶部防反射涂层,在超高分辨率下，有必要使用AZ AQUATAR系列改善光刻胶线宽， 并降低薄膜干涉造成的驻波效应
适用于各种高解像度I线/KrF/ArF光刻胶
提高了光刻胶表面的亲水性，有效地减少了显影引起的缺陷
水溶性溶液，因此适于加入现有的工艺中
