不含PFOS和PFOA溶于水Non PFOS顶部防反射涂层
发布日期：2024/11/26 16:48:12
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不含PFOS和PFOA溶于水Non PFOS顶部防反射涂层
深圳市芯泰科光电有限公司
产品热线许经理 :13玖23八66554 扣扣：35捌9123零
AQUATAR-Ⅷ系列不含PFOS和PFOA 可溶于水，使用方法与现有的TARC材料相同
适用于各种高分辨率I线/KrF/ArF光刻胶
提高了光刻胶表面的亲水性，有效地减少了显影引起的缺陷
水溶性溶液，因此适于加入现有的工艺中
