专供大学研究所底部防反射涂层系列深圳市芯泰科光电有限公司产品热线许经理玖八扣扣捌零应用于超高分辨率图形加工的底部防反射涂层在减小称底特别是高反射率称底的反射率，从而提高光刻胶线宽控制方面，的底部防反射涂层材料是一种必需的手段。该产品范围覆盖了线工艺，另外，它也适用于的工艺对线等高分辨率光刻胶具有很好

发布日期：2024/11/26 16:48:12

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应用于超高分辨率图形加工光刻胶收缩材料深圳市芯泰科光电有限公司收缩材料产品热线许经理玖八扣扣捌零涂布材料这是一种十分简单的工艺，通过涂布该材料和热处理之后在光刻胶涂层内侧形成硬化层，从而获得小于微米的通孔尺寸或沟槽线宽的微细图形可溶于溶剂型使用显影液可溶于纯水型使用去离子水显影与清边在标准光刻工艺无

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