应用于超高分辨率图形AZ AQUATAR系列

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产品分类：电子元器件

发布日期：2024/11/27 17:43:16

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应用于超高分辨率图形AZ AQUATAR系列

深圳市芯泰科光电有限公司

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应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层,在超高分辨率下，有必要使用AZ AQUATAR系列改善光刻胶线宽，并降低薄膜干涉造成的驻波效应

适用于各种高解像度I线/KrF/ArF光刻胶

提高了光刻胶表面的亲水性，有效地减少了显影引起的缺陷

水溶性溶液，因此适于加入现有的工艺中